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干膜前处理

减成法工艺用前处理

MECBRITE CB-5000系列药水

属于硫酸-双氧水系微蚀剂,以低蚀刻量在铜表面形成独特的粗化形状。适用于干膜层压前、绿油形成前,有提高结合力强度的效果。铜的溶解量大,双氧水的稳定性出色,因此可以减少运行成本。

表面形状(0.5μm蚀刻 x3500、45°)
传统药水 CB-5000系列

半加成工艺用前处理

MECetchBOND STZ-3100

属于有机酸系蚀刻剂,可实现底铜表面的超微粗化。可以极低的蚀刻量(0.1~0.2μm)粗化底铜表面,并利用其超细微的凹凸形状提高与半加成工艺用干膜的结合力强度。

无电解铜
  • 处理前
  • STZ-3100处理后

MECetchBOND STL系列

属于铜表面处理剂,无需蚀刻底铜表面,利用形成的有机皮膜提高与半加成工艺用干膜的结合力强度。

附着力评价方法(圆柱残存率)
メックエッチボンド STZ-3100(物理密着タイプ) ドットパターン残存率に関する画像
在各表面处理后,利用DF形成D/S(Dot/Space)=20/60μm、
厚:25μm的圆柱图形、
计数所形成的光点个数。
メックエッチボンド STLシリーズ(化学密着タイプ) ドットパターン残存率のグラフ
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