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异向性蚀刻

有助于提高二氯化铜蚀刻中的蚀刻因子,实现线路的精细化。

MECBRITE EXE系列药水

实现与一般氯化铜蚀刻剂几乎相同的可用性。

EXE Series的特点
  • 是面向氯化铜蚀刻剂的添加剂型。
  • 可以获得高于一般氯化铜蚀刻剂的EF。
  • 可以抑制蚀刻后的线宽偏差。
  • 可以使用一般的蚀刻生产线。
  • 可以使用通用的控制器。
  • 双氧水、氯酸钠之类的氧化剂均可使用。
异向性蚀刻示例
異方性エッチング例
異方性エッチング例
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