異方性エッチング
塩化第二銅エッチングにおけるエッチファクター・細線化に貢献します。
メックブライト
EXE Series
通常エッチング液とほぼ同様のユーザビリティを実現します。
EXE Seriesの特徴
- 20倍濃縮添加剤タイプ（5%添加剤）
- 通常塩化第二銅エッチング液に添加するだけで、エッチファクターを向上。
- 通常のエッチングラインが使用可能。
- 汎用コントローラーが使用可能。
- 管理マージンが広い。
- 酸化剤は、過酸化水素、塩素酸Na共使用可能。
異方性エッチング例
| Target Drsign L/S(μm) | 25/25 | 30/30 | 40/40 |
|---|---|---|---|
| DF Design | 31/19 | 36/24 | 45/35 |
| DF thickness | 15 | 15 | 25 |
| Copper thickness | 20 | 20 | 25 |
| EXE |  Top:15.1 Bottom:25.0 EF:4.0 |
 Top:20.0 Bottom:29.3 EF:4.3 |
 Top:32.7 Bottm:41.8 EF:5.5 |
| Conventional etchant |  Top:6.9 Bottom:25.1 EF:2.2 |
 Top:14.2 Bottom:32.7 EF:2.2 |
 Top:21.0 Bottom:43.0 EF:2.3 |
試験基板仕様
銅厚：20μm（通常銅箔12μm+めっき8μm）
銅厚：25μm（通常銅箔12μm+めっき13μm）
*無電解銅を含む。
