異方性エッチング

塩化第二銅エッチングにおけるエッチファクター・細線化に貢献します。

メックブライト

EXE Series

通常エッチング液とほぼ同様のユーザビリティを実現します。

EXE Seriesの特徴

  • 20倍濃縮添加剤タイプ(5%添加剤)
  • 通常塩化第二銅エッチング液に添加するだけで、エッチファクターを向上。
  • 通常のエッチングラインが使用可能。
  • 汎用コントローラーが使用可能。
  • 管理マージンが広い。
  • 酸化剤は、過酸化水素、塩素酸Na共使用可能。

異方性エッチング例

Target Drsign L/S(μm) 25/25 30/30 40/40
DF Design 31/19 36/24 45/35
DF thickness 15 15 25
Copper thickness 20 20 25
EXE Top:15.1 Bottom:25.0 EF:4.0 Top:20.0 Bottom:29.3 EF:4.3 Top:32.7 Bottm:41.8 EF:5.5
Conventional etchant Top:6.9 Bottom:25.1 EF:2.2 Top:14.2 Bottom:32.7 EF:2.2 Top:21.0 Bottom:43.0 EF:2.3

試験基板仕様
銅厚:20μm(通常銅箔12μm+めっき8μm)
銅厚:25μm(通常銅箔12μm+めっき13μm)

*無電解銅を含む。

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