異方性エッチング
塩化第二銅エッチングにおけるエッチファクター・細線化に貢献します。
メックブライト
EXE Series
通常エッチング液とほぼ同様のユーザビリティを実現します。
EXE Seriesの特徴
- 20倍濃縮添加剤タイプ(5%添加剤)
- 通常塩化第二銅エッチング液に添加するだけで、エッチファクターを向上。
- 通常のエッチングラインが使用可能。
- 汎用コントローラーが使用可能。
- 管理マージンが広い。
- 酸化剤は、過酸化水素、塩素酸Na共使用可能。
異方性エッチング例
Target Drsign L/S(μm) | 25/25 | 30/30 | 40/40 |
---|---|---|---|
DF Design | 31/19 | 36/24 | 45/35 |
DF thickness | 15 | 15 | 25 |
Copper thickness | 20 | 20 | 25 |
EXE | ![]() |
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Conventional etchant | ![]() |
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試験基板仕様
銅厚:20μm(通常銅箔12μm+めっき8μm)
銅厚:25μm(通常銅箔12μm+めっき13μm)
*無電解銅を含む。