選択エッチング一覧表
選択エッチング可能な金属の組み合わせの一覧表は以下のとおりです。
-
S
処理可能（保護対象はエッチングしない）
エッチング対象は100nm/min以上 -
S
処理可能（保護対象はエッチングしない）
エッチング対象は10〜100nm/min -
A
処理可能（エッチング速度比 10倍以上）
-
B
処理可能（その他）
-
不可
| エッチング対象金属（取り除きたい） | |||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Al | Zn | Fe | Co | Ni | Sn | In | Bi | Cu | Pd | W | Mo | cITO | NiCr (Cr20%) |
SUS304 | |||
| 保護対象金属（残したい、保護したい） | Al | A | A | S | A | A | S | A | S | S | S | ||||||
| Zn | A | ||||||||||||||||
| Fe | S | A | S | B | S | S | S | S | S | ||||||||
| Co | A | A | A | A | A.S | S | S | S | |||||||||
| Ni | S | A | S | A | A | A | S | S | S | S | |||||||
| Sn | A | S | S | S | S | S | |||||||||||
| In | A | A | A | B | A | S | |||||||||||
| Bi | A | A | S | B | S | S | S | S | |||||||||
| Cu | A | A | A | A | A | B | |||||||||||
| Pd | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | A | A | ||||
| W | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | |||
| Mo | S | A | A | A | A | A | A | A.S | A | A | A | ||||||
| Ag | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | ||||||
| Pt | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | ||
| Au | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | ||
| Si | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | ||
| Ti | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | ||
| Ta | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | ||
| Nb | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | ||
| clTO | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | |||
| NiCr (Cr20%) |
S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | |||||
| SUS304 | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | S | |||||
- 部材の構成によっては、対応できない場合があります。SUS304とSUS316、SUS430は同様の傾向です。
- 詳細をお伺いしなければ、選択エッチング可能か否か見極めることが難しい場合もあります。一度お問い合わせください。
選択エッチング
2種以上の異なる金属が共存するなかから、他の金属に影響を及ぼさないよう（溶かさないよう）にしながら、特定の金属を溶解するエッチング技術です。
ニッケル-クロム合金除去剤 メックリムーバー CHシリーズ
銅とニッケルークロムの共存基板から、銅をほとんど侵すことなく、ニッケルークロム合金を選択的にエッチングします。スパッタ系2層フレキ材でのニッケル-クロム被膜残渣の除去や内蔵抵抗膜のエッチングなどにご使用いただけます。
エッチング例
ニッケル除去剤 メックリムーバー NH-1860シリーズ
銅とニッケルの共存基板から、銅をほとんど侵すことなく、ニッケルを選択的にエッチングします。ニッケルバリアを用いた銅ポスト形成やニッケルをベースとする逆転写法によるパターン形成にご使用いただけます。
エッチング例
銅除去剤 メックブライト SFシリーズ
中性から弱アルカリ性のエッチング剤で、共存するニッケルやはんだを侵すことなく、銅をエッチングすることができます。
エッチング例
アルミニウム除去剤 メックアルブライト AS-1250
アルミ表面のバリやスクラッチなどをエッチングし、滑らかな表面形状を形成するアルカリ系エッチング剤です。銅も侵しません。
エッチング例
異種金属粗化、選択粗化
異種金属粗化 メックニッケルラフナー NRシリーズ（開発中）
ニッケル表面をエッチングすることで、アンカー効果に優れた独特の表面形状を形成します。ニッケル上へのドライフィルムラミネート前処理などにご使用ください。
エッチング例
選択粗化 メックエッチボンド
CZ-8500
弱アルカリ性のエッチング剤で、共存するニッケルやはんだを侵すことなく、銅表面を粗化することができます。
エッチング例
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