メックパワーエッチ
HE-7002A
- 高い銅濃度キャパシティーで使用可能な硫酸-過酸化水素系のエッチング剤です。
- 添加剤タイプのため、必要なエッチング量、設備条件に合わせたエッチングスピードの調整が可能です。
- エッチング量の面内バラツキが少なく、平滑な銅表面を形成します。
- 過酸化水素の分解を抑え、エッチングスピードを安定させます。
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